Diese haben die größten Durchfluss- und Druckbereiche.
Wenn Ihr Gas anfällig für Verunreinigungen ist, wie z.B. Reaktionen mit Feuchtigkeit, können Sie das Innere des MFC poliert wählen. Die Verbindungen können in diesem Fall von Schraub- oder Druckfittingen auf Verbindungen höherer Reinheit umgestellt werden. Verbindungen wie VCR oder VCO verwenden Metalldichtungen und werden in Betracht gezogen, wenn hoch- und ultrahochreine Gase verwendet werden.
Wenn Sie Ihren Prozess bei einem Überdruck betreiben, sollte der MFC so konstruiert sein, dass er diesem Druck standhält. Einige MFCs sind auf einen maximalen Arbeitsdruck von 100 psi oder 500 psi begrenzt. Industrielle MFCs sind in der Regel bei 100 bar (1500 psi) standardisiert und können so ausgelegt werden, dass sie sogar einem Druck von 300 bar (4500 psi) standhalten. Solche Drücke sind manchmal in der Katalysatorforschung, bei der Hydrierung von Lebensmitteln oder Medikamenten sowie in vielen petrochemischen Prozessen anzutreffen.
Wenn Ihr Prozess andererseits unter Vakuum arbeitet, muss die Konstruktion der MFC entsprechend angepasst werden. Gase verhalten sich bei positiven Drücken anders als im Hochvakuum und die Kalibrierung eines MFC für den Vakuumbetrieb verlangt höchste Präzision.
Zu berücksichtigen sind auch die Temperaturen der Gase. In der Regel werden die Gase bei relativ gemäßigten Temperaturen gemessen und geregelt und erst hinter der MFC erhöht, wenn im Prozess hohe Temperaturen erforderlich sind. Es gibt Grenzen für die Temperatur innerhalb eines MFC, da die Messtechnik sich auf die thermischen Eigenschaften des Gases stützt, um den Durchfluss zu bestimmen. So sind typischerweise 140-160°F (60-70°C) die Grenze für die Betriebstemperatur von Gasen in MFCs.
Diese sind ideal für Prozesse, die empfindlich auf Feuchtigkeit oder Sauerstoff reagieren.