What makes GP200 Series unique vs conventional P-MFCs?
See how the unique design approach of GP200 Series extends the use of P-MFCs to CVD processes.
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GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。
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