GP200シリーズ

圧力ベースマスフローコントローラ

 

最高の性能を

最大限に引き出す

最先端半導体プロセスのための

最新型圧力ベースマスフロー

 

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。

 

GP200シリーズと従来のP-MFCとの違いは何ですか?

GP200シリーズのユニークな設計手法により、P-MFCのCVDプロセスへの応用をご覧ください

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