GP200シリーズ

圧力ベースマスフローコントローラ

 

最高の性能を

最大限に引き出す

最先端半導体プロセスのための

最新型圧力ベースマスフロー

 

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。

 

What makes GP200 Series unique vs conventional P-MFCs?

See how the unique design approach of GP200 Series extends the use of P-MFCs to CVD processes.

データシートのダウンロード

 

GP200シリーズの技術仕様をご確認ください

 

最新情報をお送りします

GP200 シリーズの最新アップデートをご確認ください。

製品仕様とデータをお送りします。お客様のプロセスパフォーマンス向上にお役立てください。

メールのご登録