GP200은 어떻게 작동합니까?

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WHITE PAPER

첨단 반도체 공정 처리를 위한 새로운 차압 센서 기반 MFC

 

층류소자의 후단에 위치한 제어밸브와 개별압력센서 대신 차압센서를 사용한 새로운 P-MFC인 GP200시리즈는 기존 P-MFC에 비해 유량 측정정확도 및 반복성에서 뚜렷한 이점을 제공 합니다.

 

GP200 시리즈와 기존

P-MFC와 차별화되는 점은 무엇입니까?

 

GP200 시리즈의 고유한 설계 접근 방식이 P-MFC를 CVD 공정으로 확장하는 방법을 알아보십시오.

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GP200 시리즈에 대한 중요한 업데이트를 가져옵니다. 프로세스 성능을 개선하는 데 도움이 되도록 데이터가 뒷받침하는 사양을 보내드립니다. 
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